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光刻膠處理中的四大烘烤工藝——基板預烘烤、軟烘、曝光后烘烤與硬烘涂膠前的烘烤構建牢靠的膠基結合基板表面處理是光刻膠附著的首要環節。當溫度升至100°C時,基材表面吸附的水分子開始脫附,這一過程能有效消除“水膜屏障”,避免光刻膠與基板間因水分殘留導致的結合力下降。硅、玻璃、石英等氧化表面的羥基(-OH)會導致親水性表面,降低光刻膠附著力,而溫度進一步升至150°C以上時,羥基(-OH)會發生熱裂解反...
無塵室氮氣柜(也稱為氮氣保護柜或氮氣箱)是一種用于實驗室、生產車間等環境中的設備,主要用于提供氮氣環境,以確保材料、產品或實驗樣品在無塵、低氧的條件下存儲、加工或測試。特別是在半導體、電子、藥品、化學試劑等領域,氮氣柜的使用極為廣泛。無塵室氮氣柜的具體操作過程:1.氮氣供應系統:通過外部氮氣源(如液氮罐、氮氣瓶或氮氣發生器)提供所需的氮氣。氮氣通過管道進入氮氣柜,并通過控制閥調節氣體流量。2.內部氣體替換:氮氣進入柜體后,通過多次循環和換氣,逐漸降低柜內的氧氣濃度,直至達到設...
1.溫度控制溫度范圍:室溫~250℃(根據光刻膠類型調整,如I線膠通常90~120℃,EUV膠需200℃以上)。均勻性:±0.5℃以內(晶圓級烘箱需±0.1℃),避免膠膜厚度不均或顯影缺陷。升溫速率:1~5℃/秒(快速熱退火RTP型烘箱可達10℃/秒)。2.潔凈度Class10~100級(ISO4~5級),需配置HEPA/ULPA過濾器(過濾效率≥99.995%)。無塵設計:內腔為不銹鋼或陶瓷涂層,避免顆粒污染膠面。3.氣氛控制惰性氣體保護(N?、...
光刻膠烘箱是半導體制造、光電子器件加工中的關鍵設備,愛義信工業科技用于光刻膠(Photoresist)的前烘(Pre-Bake)和后烘(Post-Bake)工藝,其核心功能是控制膠膜的溶劑揮發、應力釋放及化學鍵合,直接影響光刻圖形的分辨率和良率。一、光刻膠烘箱的核心技術要求1.溫度控制溫度范圍:室溫~250℃(根據光刻膠類型調整,如I線膠通常90~120℃,EUV膠需200℃以上)。均勻性:±0.5℃以內(晶圓級烘箱需±0.1℃),避免膠膜厚度不均...
流水線烘箱是一種常用于工業生產過程中的設備,廣泛應用于電子、食品、化工、醫藥等行業。主要用于對產品進行加熱、干燥、固化等處理過程,以滿足生產工藝對溫度、時間和環境的特殊要求。工作原理相對簡單,它通過加熱元件(如電熱管、燃氣燒嘴等)將熱能傳遞給烘箱內部的空氣,形成恒溫的熱流環境。空氣通過風機在烘箱內部流動,將熱量均勻地分布在烘箱的各個部位,確保產品表面和內部的溫度都能均衡升高,從而實現加熱或干燥的目的。流水線烘箱的應用領域:1.電子行業:在電子產品的生產中,用于元器件的烘烤、干...
無塵室氮氣柜是一種用于存儲和管理敏感電子元件、半導體晶圓、精密儀器等物品的設備,能夠提供一個無塵且低濕度的環境,以防止物品受到污染或氧化。這種設備通常使用純凈的氮氣來置換柜內的空氣中的氧氣和水分,從而保持內部的環境穩定。工作原理基于氮氣的特性,即不活躍、不易與其他物質反應。通過向柜內充入高純度的氮氣,可以顯著降低柜內的氧氣和水分含量,從而防止氧化和濕氣對敏感物品的影響。同時,無塵室內的環境控制確保了柜外的污染物不會進入柜內,保護了內部的物品。無塵室氮氣柜的主要組成部分:1.密...
我們這里所說的烤箱是指工業烤箱,與做烘焙的烤箱有天壤之別。工業烤箱中,可以分真空和非真空,充氮和不充氮。它們雖然相似,但是也有實際的區別。1.普通烤箱:普通烤箱只能提供烘烤功能,高溫烘烤溫度可以達到很高。2.真空干燥箱、真空烘箱:這兩者都是真空箱范疇,共同點都是利用抽真空造成負壓進行工件處理(干燥、烘烤、加熱、固化、老化等),所不同的是真空烘箱溫度較高(有時需要幾百攝氏度),往往是用于真空熱處理工藝的。3.鋰電池充氮真空烤箱:在愛義信真空烘箱的基礎上,充入氮氣。充氮也是一種熱...
全自動氮氣柜是一種通過氮氣惰性環境實現防氧化、防潮、延長儲存周期的設備,廣泛應用于食品、半導體、實驗室及軍工等領域。全自動氮氣柜的選購要點:1、氮氣純度與濃度控制純度要求:氮氣純度需≥99.99%,避免氧氣、水分等雜質對樣品造成污染。濃度控制精度:優先選擇氧濃度≤1%且可調范圍廣(如0.1%-5%)的設備,適配高敏感樣品的存儲需求。濃度監測技術:采用高精度電化學/氧化鋯傳感器,響應時間≤3秒,誤差≤±0.1%,確保數據實時準確。2、節能與氮氣利用率氮氣消耗量:對...
兩廂式冷熱沖擊試驗箱是一種重要的測試設備,廣泛應用于電子、電氣、航空、汽車等行業。它通過模擬產品在特殊溫度變化下的使用環境,來測試產品在冷熱交替環境中可能出現的變化和性能衰退。其主要功能是模擬產品在短時間內經歷快速溫度變化,從而評估產品在實際應用中的耐用性、可靠性和質量。兩廂式冷熱沖擊試驗箱的工作原理:1.溫度轉換:試驗箱內設有兩個獨立的工作區域——高溫區和低溫區。在試驗過程中,樣品可以在這兩個區域之間迅速轉移,實現冷熱沖擊的效果。2.溫控系統:冷熱沖擊試驗箱配有高精度的溫控...
兩廂式冷熱沖擊試驗箱可用來測試材料結構或復合材料,在瞬間下經較高溫及極低溫的連續環境下所能忍受的程度,藉以在*短時間內試驗其因熱脹冷縮所引起的化學變化或物理傷害,適用的對象包括金屬,塑料,橡膠,電子等材料,可作為其產品改進的依據或參考。兩廂式冷熱沖擊試驗箱可用于不連續地處于高溫或低溫中的情形,能使各種物品在*短的時間內完成測試。熱震中產生的變化或物理傷害是熱脹冷縮改變或其它物理性值的改變而引起的,采用PID系統,各類產品才能獲得完*之信賴。熱震的效果包括成品裂開或破層及位移等...
精密熱風循環烘箱是一種廣泛應用于實驗室、工業生產等領域的高性能熱處理設備。它主要通過內部的熱風循環系統,利用加熱元件加熱空氣,并將熱空氣均勻分布在烘箱內,以確保物品在均勻的溫度條件下進行干燥、加熱或恒溫處理。具有溫控精準、均勻加熱、高效節能等特點,常用于電子、電器、化工、醫藥、食品等行業。精密熱風循環烘箱的具體工作流程:1.加熱:烘箱內的電加熱元件(如電阻絲、加熱管等)將電能轉換為熱能,使空氣溫度上升。加熱元件通常安裝在烘箱的底部或頂部,通過熱傳導將熱量傳遞到空氣中。2.循環...
大家都知道精密真空烤箱是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備,它利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內形成真空狀態,降低水的沸點,加快干燥的速度。愛義信精密真空烤箱具體干燥物品速度快、污染小、不對被干燥物品的內在質量造成破壞的優點。但您知道愛義信精密真空烤箱為什么要先抽真空再運行使用嗎?1、試驗品放入精密真空烘箱里抽真空是為了抽去工件材質中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件,氣體遇熱就會膨脹。由于烘箱的密封性非常好,膨脹氣體所產生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆...
高低溫濕熱試驗箱是一種用于模擬各種環境條件下產品性能的試驗設備。通過在高溫、低溫、高濕和低濕等不同環境下對產品進行測試,以評估產品在特殊環境下的穩定性、可靠性和耐久性。工作原理是通過控制試驗箱內的溫度、濕度和氣壓等參數,模擬各種環境條件,對產品進行測試。試驗過程中,試驗箱內的傳感器會實時監測溫度、濕度等參數,并將數據傳輸到控制系統,控制系統根據設定的試驗程序,自動調整試驗箱內的溫度、濕度等參數,以保證試驗的準確性和穩定性。高低溫濕熱試驗箱結構組成:1.箱體:試驗箱的主體結構,...